投資要點(diǎn)：

 

    2022 年4 月國(guó)內(nèi)主流晶圓廠共開(kāi)標(biāo)108 臺(tái)工藝設(shè)備，上海積塔為擴(kuò)產(chǎn)主力。我們以長(zhǎng)江存儲(chǔ)、華力集成龍頭股、華力微電子、福建晉華、華虹無(wú)錫、合肥晶合、上海積塔、中車時(shí)代、中芯紹興、武漢新芯10 家中國(guó)大陸主要的IDM 或代工企業(yè)為統(tǒng)計(jì)樣本，通過(guò)中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)對(duì)上述晶圓廠中標(biāo)情況進(jìn)行梳理。2022 年4 月國(guó)內(nèi)10 家主流晶圓廠共開(kāi)標(biāo)108 臺(tái)工藝設(shè)備，主要來(lái)自上海積塔（78 臺(tái)）、華虹無(wú)錫（20臺(tái)）、福建晉華（5 臺(tái)）、時(shí)代電氣（3 臺(tái)）、華力微電子（1 臺(tái)）、華力集成（1 臺(tái)）。

 

    22 年1-4 月合計(jì)開(kāi)標(biāo)401 臺(tái)工藝設(shè)備概念股，主要來(lái)自華虹無(wú)錫（268 臺(tái)）、上海積塔（104 臺(tái)）、時(shí)代電氣（14 臺(tái)）、福建晉華（12 臺(tái)）、華力集成（2 臺(tái)）、華力微電子（1 臺(tái)）。

 

    爐管、刻蝕設(shè)備為2022 年4 月國(guó)內(nèi)晶圓廠主要開(kāi)標(biāo)設(shè)備。2022 年4 月開(kāi)標(biāo)的108臺(tái)設(shè)備龍頭股中，按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（30 臺(tái)）、刻蝕設(shè)備（29 臺(tái)）、前道檢測(cè)設(shè)備（10 臺(tái)）、清洗設(shè)備（10 臺(tái)）、干法去膠設(shè)備（9臺(tái)）、沉積設(shè)備（8 臺(tái)）、離子注入機(jī)（4 臺(tái)）、涂膠顯影設(shè)備（4 臺(tái)）、后道測(cè)試設(shè)備（2 臺(tái)）、光刻機(jī)（1 臺(tái)）、拋光設(shè)備（1 臺(tái)）。2022 年1-4 月開(kāi)標(biāo)的401 臺(tái)設(shè)備中，按照不同工藝設(shè)備開(kāi)標(biāo)數(shù)量從高到低排列，分別為爐管設(shè)備（112 臺(tái)）、刻蝕設(shè)備（61 臺(tái)）、沉積設(shè)備（61 臺(tái)）、前道檢測(cè)設(shè)備（48 臺(tái)）、后道測(cè)試設(shè)備（35 臺(tái)）、離子注入機(jī)（18 臺(tái)）、清洗設(shè)備（17 臺(tái)）、拋光設(shè)備（15 臺(tái)）、涂膠顯影設(shè)備（14臺(tái)）、干法去膠設(shè)備（14 臺(tái)）、光刻機(jī)（6 臺(tái)）。

 

    受國(guó)內(nèi)刻蝕、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備廠家拉動(dòng)，中標(biāo)國(guó)產(chǎn)率持續(xù)提升。2022年4 月中國(guó)大陸設(shè)備中標(biāo)數(shù)量為67 臺(tái)，國(guó)產(chǎn)率達(dá)62%。2022 年1-4 月開(kāi)標(biāo)的401臺(tái)設(shè)備中，源自中國(guó)大陸廠家制造的設(shè)備共計(jì)97 臺(tái)，占比達(dá)24.2%。分晶圓廠看，2022 年1-4 月，上海積塔設(shè)備國(guó)產(chǎn)率超40%；分設(shè)備看，2022 年1-4 月國(guó)產(chǎn)率較高的環(huán)節(jié)主要為干法去膠設(shè)備（國(guó)產(chǎn)率71%）、刻蝕設(shè)備（51%）、清洗設(shè)備（41%）、離子注入機(jī)（39%）、拋光設(shè)備龍頭股（27%）、涂膠顯影設(shè)備（21%）。聚焦4月份國(guó)內(nèi)中標(biāo)廠商，北方華創(chuàng)（中標(biāo)33 臺(tái)）、中微公司（13 臺(tái)）、屹唐（10 臺(tái)）、芯源微（7 臺(tái)）、上海精測(cè)概念股（1 臺(tái)）、盛美上海（1 臺(tái)）排名靠前，持續(xù)體現(xiàn)國(guó)內(nèi)廠家在刻蝕、清洗、干法去膠、涂膠顯影等設(shè)備環(huán)節(jié)的強(qiáng)勢(shì)地位。

 

    投資建議：重點(diǎn)關(guān)注國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備龍頭北方華創(chuàng)（002371）；高端刻蝕設(shè)備龍頭中微公司（688012）；持續(xù)突破高端后道測(cè)試機(jī)的長(zhǎng)川科技（300604）、華峰測(cè)控（688200）；涂膠顯影與單片清洗不斷突破前道環(huán)節(jié)的國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備小巨人芯源微（688037）；半導(dǎo)體薄膜沉積龍頭拓荊科技（688072）；國(guó)產(chǎn)清洗設(shè)備領(lǐng)軍企業(yè)盛美上海（ 688082）、至純科技（ 603690）； 離子注入機(jī)領(lǐng)先企業(yè)萬(wàn)業(yè)企業(yè)（600641）；半導(dǎo)體環(huán)保設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)盛劍環(huán)境（603324）等。

 

    風(fēng)險(xiǎn)提示：晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)不及預(yù)期、設(shè)備概念股公司研發(fā)不及預(yù)期、中美貿(mào)易摩擦風(fēng)險(xiǎn)。

 

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